詳情
IWAKI（易威奇） 風囊泵
在半导体制造(zao)过(guo)程中的超净规格用泵，有良(liang)好的跟踪记(ji)录。波(bo)纹(wen)管泵寿命(ming)长，停机时间短。
所有接液部件都使用氟塑(su)料(liao)，它们可以处理(li)用于半导体应用的化学品，如酸、碱和过(guo)量的水。泵的外表(biao)面涂(tu)有氟塑(su)料(liao)，因此没有金属零(ling)件暴(bao)露(lu)出来(lai)。
特點：
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优秀的设计，波(bo)纹(wen)管使用寿命(ming)长。
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使用耐化学腐蚀和耐热氟塑(su)料(liao)对(dui)所有被润湿部件进行无污染设计。
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泵头和波(bo)纹(wen)管焊(han)接成整体结构，消(xiao)除了流体泄漏的问题(ti)。
FLP-60W 低脈動氣動風囊泵
低脈動
独特的系统驱动机制，确保(bao)气囊最佳运(yun)动效果，将(jiang)脉动减到(dao)最低。
減低壓縮(suo)空氣消(xiao)耗量
在不影响泵的性能下，减少高达30%的压缩(suo)空气消(xiao)耗量。
高持續壓力
最佳的气囊运(yun)动，有效提高压力的承受能力，以维持稳定的流量和负(fu)载频(pin)繁变(bian)化下的吐出压力，尤其在单(dan)晶(jing)圆处理(li)过(guo)程中。
無需阻尼器
泵的运(yun)作无需使用阻尼器，节省设备空间及安装费用，例(li)如氟塑(su)料(liao)接管等。整体设备的重量/尺寸得以最小化。
规格
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最大流量 L/min |
50 |
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最大脉动宽(kuan)度 MPa |
0.06 |
液体温度范围(wei) °C(MPa)
(最大压缩(suo)空气压力) |
5 ~ 100 (0.5), 101 ~ 150 (0.4), 151 ~ 180 (0.3) |
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压缩(suo)空气压力范围(wei) MPa |
0.41~0.5 |
0.31~0.4 |
0.21~0.3 |
0.11~0.2 |
0.1 |
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最高冲程率 spm |
120 |
140 |
155 |
160 |
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最大压缩(suo)空气消(xiao)耗量 NL/min |
464 |
419 |
338 |
252 |
116 |
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最大粘度 mPa·S |
50 |
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吸程 m |
1 |
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环境温度 / 湿度 °C/%RH |
0 ~ 40 (非冷凝) / 30 ~ 60 (非冷凝) |
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储存温度 / 湿度 °C/%RH |
-10 ~ 60 (非冷凝) / 20 ~ 70 (非冷凝) |
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操作方式 |
间隔 /连续 |
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驱动方式 |
外部压缩(suo)空气 |
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接头尺寸 mm |
Ø25 x Ø22 软管 |
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压缩(suo)空气接头尺寸 |
Rc3/8 |
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空气端口 |
Ø6 一触式接头 |
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重量 kg |
22 |
FS 係列 外型小巧、低成本、高速衝程的氣動風囊泵
高速衝程
提升泵的冲程速度 (最高达240 spm)，让制造(zao)过(guo)程中，大大减少泵的尺寸、重量、成本，及降低脉动。
無汙染設計
过(guo)流端零(ling)件均采用氟树脂材质，没有金属零(ling)件外露(lu)的设计，外壳(ke)采用氟树脂材质。使用独有的轴封(feng) (已申请专利)，能显著(zhu)降低颗粒的产生。
液體輸(shu)送(song)溫度範圍(wei)寬(kuan)泛/高吐出壓力
液体输(shu)送(song)温度范围(wei)高达5 - 180°C，吐出压力高达45MPa。不仅适(shi)用于清洗和CMP制程，同时适(shi)用于化学液体供(gong)药。
易於維護
更(geng)换开关无需拆卸，不需定期收(shou)紧螺栓(shuan)，减少了停机时间。
傳感器驅動係統
内置式开关通过(guo)传感器驱动系统打开/关闭电磁阀。因此，即(ji)使连接各种控制器，亦可以轻易控制吐出量。
规格：
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最大吐出量 |
55 L/min |
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最大吐出压力 |
0.5 MPa |
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最大耗气量 |
670 NL/min |
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最大冲程率 |
240 spm |
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主要材质 |
PTFE, PFA |
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液体输(shu)送(song)温度范围(wei) |
5 ~ 180 °C |
FS-N 係列 適(shi)用於各類供(gong)藥係統，吐出量達100L/min
高速衝程
高速冲程 (FS-80N最高达200 spm)，让结构紧凑、重量轻、成本低，可同时用于高流量及高压力工况。
無汙染設計
过(guo)流端采用氟树脂无污染构造(zao)，使用独有的轴封(feng)显著(zhu)降低颗粒的产生(已申请专利)。
高流量及高吐出壓力
最大吐出量高达0.7MPa，不仅满足化学供(gong)药过(guo)程中高流量及高吐出压力的需求，同时适(shi)用于清洗及CMP制程。
傳感器驅動係統
内置式开关通过(guo)传感器驱动系统打开/关闭电磁阀。因此，即(ji)使连接各种控制器，亦可以轻易控制吐出量。
